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精密运动平台
描述：

半导体精密运动平台

  • 发布时间

    2026-01-21

  • 访问量

    83

  • 品牌

    BETR
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详细介绍

结构：非接触式直驱、高分辨率光栅。

特点：低摩擦、高精度、高刚性。

应用：晶圆检测、测量等设备。

高动态响应、低静态抖动。

支持行程非标定制。



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